光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵

光學(xué)工業(yè)適用多級(jí)直聯(lián)式干式羅茨真空泵

1. 結(jié)構(gòu)
• 多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機(jī)，無(wú)齒輪箱、無(wú)潤(rùn)滑油接觸真空腔
• 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護(hù)面僅正面一側(cè)
2. 光學(xué)行業(yè)對(duì)應(yīng)性能
• 單臺(tái)抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號(hào)可選，大氣壓→10 Pa 連續(xù)工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
• 內(nèi)置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學(xué)元件水痕
• 轉(zhuǎn)子經(jīng)動(dòng)平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級(jí)，可直接放于潔凈室或光學(xué)車(chē)間內(nèi)
3. 材質(zhì)與潔凈度
• 過(guò)流部標(biāo)準(zhǔn)陽(yáng)極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規(guī)格，滿(mǎn)足 100 級(jí)潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
• 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮?dú)馄琳?，?shí)現(xiàn) ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
4. 典型光學(xué)工藝
• 精密光學(xué)鍍膜機(jī)（電子束蒸發(fā)、離子輔助 IAD）粗抽與維持
• 相機(jī)鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
• 光學(xué)塑料顆粒干燥前級(jí)泵，防止油分子反擴(kuò)散造成黃變

1. 結(jié)構(gòu)
• 多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子直聯(lián)變頻電機(jī)，無(wú)齒輪箱、無(wú)潤(rùn)滑油接觸真空腔
• 立式布局，占地 ≤ 0.2 m2，可穿墻安裝，維護(hù)面僅正面一側(cè)
2. 光學(xué)行業(yè)對(duì)應(yīng)性能
• 單臺(tái)抽速 180-1 200 m3/h（50 Hz）多型號(hào)可選，大氣壓→10 Pa 連續(xù)工作，適合快速粗抽與 TMP 背泵
• 內(nèi)置氣體冷卻回流通道，可排可凝性溶劑（酒精、丙酮）及水汽，避免光學(xué)元件水痕
• 轉(zhuǎn)子經(jīng)動(dòng)平衡+排氣消音器，噪音 ≤ 62 dB(A)，1 m 聲壓級(jí)，可直接放于潔凈室或光學(xué)車(chē)間內(nèi)
3. 材質(zhì)與潔凈度
• 過(guò)流部標(biāo)準(zhǔn)陽(yáng)極氧化鋁，可選 304/316L 全不銹鋼規(guī)格，滿(mǎn)足 100 級(jí)潔凈室 particle ≤ 10 pcs/ft3 (0.3 µm)
• 軸封采用高差壓雙重唇形密封+氮?dú)馄琳希瑢?shí)現(xiàn) ≤ 1×10?? Pa·m3/s 氦漏率
4. 典型光學(xué)工藝
• 精密光學(xué)鍍膜機(jī)（電子束蒸發(fā)、離子輔助 IAD）粗抽與維持
• 相機(jī)鏡頭、激光晶體真空脫水、脫氣
• 光學(xué)塑料顆粒干燥前級(jí)泵，防止油分子反擴(kuò)散造成黃變