產品資料
半導體行業用單片流量控制高精度旋轉接頭
產品名稱: 半導體行業用單片流量控制高精度旋轉接頭
產品型號: MFC型
產品特點: 半導體行業用單片流量控制高精度旋轉接頭旋轉接頭間隙密封 MFC 型單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg
半導體行業用單片流量控制高精度旋轉接頭 的詳細介紹
半導體行業用單片流量控制高精度旋轉接頭
半導體行業用單片流量控制高精度旋轉接頭
旋轉接頭間隙密封 MFC 型
單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg
一、產品定位
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
- 間隙密封：1-5 µm 間隙，無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- MFC 流量控制：內置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
- 真空兼容：真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容
二、核心技術參數（MFC 型）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 原理 | 間隙密封 + MFC 流量控制 |
| 間隙寬度 | 1-5 µm（無接觸密封） |
| 流量范圍 | 0.1 – 10 L/min（±1 % FS） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 顆粒生成 | < 1 pc/片（0.3 µm 以上） |
| 接觸材料 | 316L + PTFE + 藍寶石（軸承） |
| 溫度范圍 | -20 – 120 ℃（短時 150 ℃） |
| 接口 | 1/4-28 UNF（真空饋通） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 MFC 驅動器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×70 mm，0.8 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續運行） |
三、功能亮點
- 1-5 µm 間隙密封：無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- 0.1-10 L/min MFC：內置 MFC，±1 % FS，單片流量精確控制
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：Class 100 兼容，無油污染
- 0.8 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
- 20,000 h 壽命：間隙密封無磨損，連續運行 20,000 h
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
旋轉接頭間隙密封 MFC 型
單片式清洗 · 間隙密封 · MFC 流量控制 · 真空兼容
單片傳送 · 間隙 1-5 µm · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.8 kg
一、產品定位
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
- 間隙密封：1-5 µm 間隙，無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- MFC 流量控制：內置 MFC，0.1-10 L/min，±1 % FS
- 真空兼容：真空 ≤ 1×10?? Pa，Class 100 兼容
二、核心技術參數（MFC 型）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 原理 | 間隙密封 + MFC 流量控制 |
| 間隙寬度 | 1-5 µm（無接觸密封） |
| 流量范圍 | 0.1 – 10 L/min（±1 % FS） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 顆粒生成 | < 1 pc/片（0.3 µm 以上） |
| 接觸材料 | 316L + PTFE + 藍寶石（軸承） |
| 溫度范圍 | -20 – 120 ℃（短時 150 ℃） |
| 接口 | 1/4-28 UNF（真空饋通） |
| 電源 | DC 24 V 1 A（含 MFC 驅動器） |
| 尺寸/重量 | Φ25×70 mm，0.8 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續運行） |
三、功能亮點
- 1-5 µm 間隙密封：無接觸密封，顆粒生成 < 1 pc/片
- 0.1-10 L/min MFC：內置 MFC，±1 % FS，單片流量精確控制
- ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：Class 100 兼容，無油污染
- 0.8 kg 超輕：可直接貼腔體，不增加機械負載
- 20,000 h 壽命：間隙密封無磨損，連續運行 20,000 h
- 單片式清洗：單片傳送、單片蝕刻、單片 CMP 后清洗
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