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產(chǎn)品資料

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半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)

產(chǎn)品型號: TDC-1006-3/H- DX系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)
小型 · 高負(fù)壓 · 干式 · HEPA · 半導(dǎo)體潔凈兼容
0.6 kW · 100 m³/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg

半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī) 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體制造裝置用小型潔凈集塵機(jī)

小型 · 高負(fù)壓 · 干式 · HEPA · 半導(dǎo)體潔凈兼容
0.6 kW · 100 m3/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體制造裝置用：單片清洗、CMP、干刻、離子注入粉塵收集
小型集塵機(jī)：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，底面積 A4 紙
干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，無油污染
TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %

二、核心技術(shù)參數(shù)（TDC-1006-3/H-DX）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
類型	干式高負(fù)壓集塵機(jī)
風(fēng)量	100 m3/h（@ -18 kPa）
負(fù)壓	-18 kPa（-180 mbar）
功率	0.6 kW（單相 200 V）
過濾效率	99.97 %（0.3 µm HEPA）
潔凈等級	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3）
粉塵容量	6 L（可更換）
噪聲	≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷）
接口	Φ50 mm 快插（可轉(zhuǎn) NW40）
尺寸/重量	400×300×400 mm，46 kg
壽命	20,000 h（連續(xù)運(yùn)行）

三、功能亮點(diǎn)

0.6 kW 小型：A4 底面積，放實(shí)驗(yàn)臺，無需地基
-18 kPa 高負(fù)壓：比同級集塵機(jī)負(fù)壓高 50 %，適合高負(fù)壓吸塵
0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，無油污染
6 L 大容量：6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚(yáng)
58 dB 靜音：空冷無冷卻水，24 h 運(yùn)行不擾人
Class 100 潔凈：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，半導(dǎo)體潔凈兼容

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制

半導(dǎo)體單片清洗粉塵收集┌─ 清洗腔體 ─┐│               │粉塵← TDC-1006 ← 真空饋通 Φ50│               │└─ 回大氣 ────┘

高負(fù)壓 -18 kPa，0.3 µm 粉塵 99.97 % 捕集
6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚(yáng)

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）

粉塵：0.3 µm SiO?，濃度 10 mg/m3
TDC-1006-3/H-DX：

過濾效率 99.97 %（0.3 µm）
負(fù)壓 -18 kPa（穩(wěn)定）
噪聲 58 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

表格

復(fù)制

件號	說明
TDC-1006-3/H-DX	0.6 kW 標(biāo)準(zhǔn)型
TDC-1006-H-HEPA	HEPA 99.97 % 套件
TDC-1006-NW40	NW40 快接法蘭套件
TDC-1006-APP	云端 APP 遠(yuǎn)程監(jiān)控

七、維護(hù)與可靠性

HEPA：每 6 個(gè)月更換一次
粉塵桶：每月清理一次
電機(jī)：年漂移 < 0.1 %，無需校準(zhǔn)
整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論

Tohin TDC-1006-3/H-DX 以「0.6 kW 小型 + -18 kPa 高負(fù)壓 + 0.3 µm 99.97 % HEPA + Class 100 潔凈」四合一設(shè)計(jì)，讓半導(dǎo)體制造裝置獲得「小型、高負(fù)壓、潔凈」集塵，是小型集塵機(jī)的「半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」

小型 · 高負(fù)壓 · 干式 · HEPA · 半導(dǎo)體潔凈兼容
0.6 kW · 100 m3/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg

一、產(chǎn)品定位

半導(dǎo)體制造裝置用：單片清洗、CMP、干刻、離子注入粉塵收集
小型集塵機(jī)：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，底面積 A4 紙
干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，無油污染
TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %

二、核心技術(shù)參數(shù)（TDC-1006-3/H-DX）

表格

復(fù)制

項(xiàng)目	參數(shù)
類型	干式高負(fù)壓集塵機(jī)
風(fēng)量	100 m3/h（@ -18 kPa）
負(fù)壓	-18 kPa（-180 mbar）
功率	0.6 kW（單相 200 V）
過濾效率	99.97 %（0.3 µm HEPA）
潔凈等級	Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3）
粉塵容量	6 L（可更換）
噪聲	≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷）
接口	Φ50 mm 快插（可轉(zhuǎn) NW40）
尺寸/重量	400×300×400 mm，46 kg
壽命	20,000 h（連續(xù)運(yùn)行）

三、功能亮點(diǎn)

0.6 kW 小型：A4 底面積，放實(shí)驗(yàn)臺，無需地基
-18 kPa 高負(fù)壓：比同級集塵機(jī)負(fù)壓高 50 %，適合高負(fù)壓吸塵
0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，無油污染
6 L 大容量：6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚(yáng)
58 dB 靜音：空冷無冷卻水，24 h 運(yùn)行不擾人
Class 100 潔凈：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，半導(dǎo)體潔凈兼容

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

復(fù)制

半導(dǎo)體單片清洗粉塵收集┌─ 清洗腔體 ─┐│               │粉塵← TDC-1006 ← 真空饋通 Φ50│               │└─ 回大氣 ────┘

高負(fù)壓 -18 kPa，0.3 µm 粉塵 99.97 % 捕集
6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚(yáng)

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）

粉塵：0.3 µm SiO?，濃度 10 mg/m3
TDC-1006-3/H-DX：

過濾效率 99.97 %（0.3 µm）
負(fù)壓 -18 kPa（穩(wěn)定）
噪聲 58 dB（比冰箱低）

六、選型與配件

表格

復(fù)制

件號	說明
TDC-1006-3/H-DX	0.6 kW 標(biāo)準(zhǔn)型
TDC-1006-H-HEPA	HEPA 99.97 % 套件
TDC-1006-NW40	NW40 快接法蘭套件
TDC-1006-APP	云端 APP 遠(yuǎn)程監(jiān)控

七、維護(hù)與可靠性

HEPA：每 6 個(gè)月更換一次
粉塵桶：每月清理一次
電機(jī)：年漂移 < 0.1 %，無需校準(zhǔn)
整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障

八、結(jié)論

Tohin TDC-1006-3/H-DX 以「0.6 kW 小型 + -18 kPa 高負(fù)壓 + 0.3 µm 99.97 % HEPA + Class 100 潔凈」四合一設(shè)計(jì)，讓半導(dǎo)體制造裝置獲得「小型、高負(fù)壓、潔凈」集塵，是小型集塵機(jī)的「半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」

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