半導體廠多路 ppb 連續監視氣體檢測儀

產品名稱: 半導體廠多路 ppb 連續監視氣體檢測儀

產品型號: XPS-7 XD5-7

產品特點: 半導體廠多路 ppb 連續監視氣體檢測儀
1 臺主機多可掛載 5 個不同氣體傳感器頭（半導體級）
通過電磁閥自動循環切換，實現多路 / 多點 / 多氣體連續監視
目標：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF 等 ppb 級毒性氣體
適用于晶圓廠 Gas Box、Y-Piece、閥門分配箱（VMB）及 CVD / 刻蝕 / 離子注入工藝段

半導體廠多路 ppb 連續監視氣體檢測儀 的詳細介紹

半導體廠多路 ppb 連續監視氣體檢測儀

1 臺主機多可掛載 5 個不同氣體傳感器頭（半導體級）通過電磁閥自動循環切換，實現多路 / 多點 / 多氣體連續監視目標：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF 等 ppb 級毒性氣體適用于晶圓廠 Gas Box、Y-Piece、閥門分配箱（VMB）及 CVD / 刻蝕 / 離子注入工藝段

表格

復制

單元	型號	功能
主機	XPS-7	5 通道自動切換、4–20 mA / RS-485、3 段報警、LCD 圖形
傳感器頭	XD5-7-○○	半導體專用檢測頭（○○ = 氣體代碼）
采樣泵	內置	0.3 L min?1 無刷隔膜泵，可外接 30 m 采樣管線
采樣路徑	5 路電磁閥	1 s–999 s 可設駐留時間，循環或定點模式

檢測原理：

電化學式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
半導體式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景補償）

檢測范圍（示例）：
SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
PH? 0–200 ppb / 1 ppb
AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
HCl 0–5 ppm / 10 ppb
響應時間 T90：≤ 30 s（采樣距離 10 m 以內）
報警輸出：
獨立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），繼電器 1 A×3，可聯鎖 Shut-valve
自我診斷：傳感器斷線、流量低、閥門異常、泵壽命倒計時
校準：內置電磁閥切換零氣 / 量程氣，無需拆頭，30 s 完成兩點校準
防護：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可選氫氣防爆）
電源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 閥）
尺寸／重量：XPS-7 194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg

檢測原理：

電化學式（EC）：SiH?、PH?、AsH?、B?H?、H?Se、HCl、Cl?、NH?、HF
半導體式（SC）：H?（0–1000 ppm，用于泄漏背景補償）

檢測范圍（示例）：
SiH? 0–500 ppb / 1 ppb 分辨率
PH? 0–200 ppb / 1 ppb
AsH? 0–100 ppb / 0.5 ppb
HCl 0–5 ppm / 10 ppb
響應時間 T90：≤ 30 s（采樣距離 10 m 以內）
報警輸出：
獨立 3 段（HIGH / HIGH HIGH / STEL-TWA），繼電器 1 A×3，可聯鎖 Shut-valve
自我診斷：傳感器斷線、流量低、閥門異常、泵壽命倒計時
校準：內置電磁閥切換零氣 / 量程氣，無需拆頭，30 s 完成兩點校準
防護：IP65，Ex db eb ib IIC T4（可選氫氣防爆）
電源：DC 24 V ±10 %，功耗 15 W（泵 + 閥）
尺寸／重量：XPS-7 194 W×240 H×95 D mm，2.8 kg