產品資料
小型高穩定性半導體膜厚測定光源氙燈
產品名稱: 小型高穩定性半導體膜厚測定光源氙燈
產品型號:
產品特點: 小型高穩定性半導體膜厚測定光源氙燈日本 Milas（ミラス株式會社）供應的 A3611S 是一款專為 半導體膜厚測定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry） 設計的高穩定性 氙燈紫外點光源，輸出波段覆蓋 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外區保持高輻射強度，用于 nm 級超薄光刻膠、SiO?、SiN、Low-k、High-k、金屬薄
小型高穩定性半導體膜厚測定光源氙燈 的詳細介紹
小型高穩定性半導體膜厚測定光源氙燈
小型高穩定性半導體膜厚測定光源氙燈
| 項目 | 參數 / 說明 |
|---|---|
| 型 號 | A3611S（Milas Xenon Lamp House） |
| 用 途 | 半導體膜厚計、橢偏儀、反射率計的紫外-可見光源 |
| 輸出波段 | 190–800 nm（185 nm 以下深紫外可選 MgF? 窗口） |
| 燈 類 型 | 短弧氙燈 75 W（可選 150 W 高功率版 A3612S） |
| 弧 長 | ≈ 0.5 mm，點光源設計，易耦合光纖 / 透鏡 |
| 窗 口 | 高純度合成石英（可選 MgF? 真空紫外窗） |
| 光 穩 定 性 | < 0.3 % CV（10 min 預熱后，@ 250 nm） |
| 冷 卻 方 式 | 強制風冷（內置溫控風扇，無外部水冷） |
| 壽 命 | 典型 2 000 h（> 70 % 初始強度） |
| 電 源 | 專配 LPS-75X 恒功率電源，AC 100–240 V，50/60 Hz |
| 外 形 | 105 × 105 × 135 mm（燈室），可直接 30 mm 光學桿安裝 |
| 重 量 | ≈ 1.8 kg（燈室） |
?? 光譜特性
- 200 nm 處輻射強度 > 40 mW mm?2 sr?1（75 W 檔）
- 250–350 nm 波段無顯著汞線，連續譜適合薄膜干涉擬合
- 可見區 450–700 nm 亦保持平滑連續譜，支持多波長橢偏算法
?? 配套接口
| 接口類型 | 說明 |
|---|---|
| SMA905 | 標配 600 µm 石英光纖跳線，NA = 0.22，長度 1 m（可 2/3 m） |
| FC/PC | 可選，適合與 Ocean Insight、Horiba、J.A. Woollam 光譜儀直連 |
| 自由空間 | 30 mm 籠式系統兼容，可加裝 Φ 25 mm 透鏡組 |
?? 標準配置清單
- A3611S 燈室（含 75 W 氙燈，石英窗）
- LPS-75X 恒功率電源（帶 RS-232C 遙控）
- 燈-電源互聯電纜 2 m
- SMA905 石英光纖 1 m
日本 Milas（ミラス株式會社）供應的 A3611S 是一款專為 半導體膜厚測定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry） 設計的高穩定性 氙燈紫外點光源，輸出波段覆蓋 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外區保持高輻射強度，用于 nm 級超薄光刻膠、SiO?、SiN、Low-k、High-k、金屬薄膜 的在線或離線厚度解析。日本 Milas（ミラス株式會社）供應的 A3611S 是一款專為 半導體膜厚測定（Spectroscopic Ellipsometry / Reflectometry） 設計的高穩定性 氙燈紫外點光源，輸出波段覆蓋 190–800 nm，在 200–400 nm 紫外區保持高輻射強度，用于 nm 級超薄光刻膠、SiO?、SiN、Low-k、High-k、金屬薄膜 的在線或離線厚度解析。
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